干燥，无油真空　　高的气体容量　　能以任意角度安装

工作范围：

　 10-1-10-10mbar(短周期) 　　　　　 所有高真空泵具超高抽吸速度
　 前级泵仅仅用作启动 　　　　　　　 紧凑型，高效设计
　 对侵入的大气没有反应 　　　　　　 低的操作费用
　 闭路循环　　　　　　　　　　　　 低温氦冷
　 冷却温度范围：6.5K-290K　　　　　 高制冷能力
　 低的操作费用　　　　　　　　　　 可方便的在冷温环境下进行测量
　 专利几何设计，能以任意角度安装　 温度测量简单

应用领域：

　适用于高真空，超高真空获得，也可用于以下领域：

微粒加速器	熔化测试系统	仿真空室
溅射设备	热烧结系统	用金属处理
离子刻蚀系统	电子束无焊缝处理	冶金领域
薄膜产品	真空炉

低温泵特征：

绝对无油，超洁净的真空
对水气的抽空能力超强
极限真空可达：能量消耗低，冷却水消耗低
专业的低温泵技术具备比一般低温泵更大的抽速，在保证对水气抽气能力的前提下，同时可以对其他气体进行抽速调节（调节范围从10%--100%）。
接口：DN 100---DN 500

[型号]低温泵 [产品介绍]具有集成控制和外设部件的低温泵系统。可以快速的实现与设备系统的控制的整合和系统集中操控。 稳定的工艺性能。 性能经过强化，提供设备更多的工艺时间。 缩短再生时间，是Cryo-Torr®系列低温泵的三分之一到一半。 快速再生™ 功能提升完全再生之间的性能表现。 成组的低温泵具有群组再生功能，可以大大缩短整个系统的再生时间耗用，增加设备的有效使用时间。 GOLDLink® 实时监控系统提供24/7的保障。 全球性的服务支持体系。 On-Board®低温泵集成了微电脑控制，可以显著提高泵体的性能，并提供系统自我诊断和设备通讯的功能。On-Board®低温泵可以适合复杂的软件程序控制。现在全球的追求性能和可靠性的低温泵主流应用正是采用On-Board®做为标准的解决方案。 On-Board®低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段，并保证了设备的高产和工艺的稳定性。On-Board®低温泵有全系列的品种，满足各类工艺和应用条件的选用。

技术参数：   On-Board低温泵 4F 8 8F 10 10F 400 抽速 - 升/秒. 水气 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 17,500 空气 370 1,500 1,500 3,000   6,000 氢气 370 2,500 2,200 5,000   12,000 氩气 310 1,200 1,200 2,500   5,000 容量 - 标准升 氩气 210 1,000 1,000 2,000   2,500 氢气 (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 42 再生时间 (冷到冷) 完全再生 75 min. 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs 3 hrs 快速再生 <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr     Coolvac系列低温泵 　　低温泵是气体捕集泵，它的工作原理包括低温冷凝、低温吸附和低温捕获。 　低温泵的抽速从800到30000升/秒（对氮气），共分七个规格，可用于产生高真空和超高真空，10-13--10-11mbar。 中科帅虹的低温泵的主要特点有： ·与相同口径的其他泵比较，低温泵具有最大的抽速。对水蒸气抽速极大。 ·无碳氢化合物的污染，可以用来产生洁净的高真和超高真空。 ·在泵体内没有任何运动不见，因此承受大气流的冲击、粉尘和颗粒及来自系统的震动。 ·只有在低温泵启动和再生时才需要前级泵。 ·低温泵的MULTIPLE运行方式可以允许两台或两台以上的低温泵同时工作，而共用一台压缩机。 ·所有低温泵全部装有安全阀，如发生如断电等意外，当泵内压力超过大气压150mbar时，安全阀自动打开。 低温泵所独有的FIRST快速再生方式 低温泵采用的是电加热、全程自动控制的再生方式。它的主要优点有： 1.电加热的再生方式无需氮气，其运行成本比吹氮气的再生方式低60% 2.在低温泵的再生过程中，温度自第二级冷头向第一级冷头逐渐升高，气体依次排出，避免了吹氮气再生中气体同时放出后产生腐蚀性或危险性气体的可能（如H2和O2，H2O和CO2）。 3.CCC2001控制器再生全过程中对泵内压力及温度分布进行自动控制。 4.再生迅速，“冷到冷”耗时小于40分钟。 5.再生彻底，经50次快速再生后才需要一次完全再生。而其他的低温泵每次进行5次快速再生后就要进行一次完全再生。