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北京中科帅虹真空设备厂简介
北京中科帅虹真空设备厂主要以加工真空陶瓷电极,真空观察窗,真空密封插座,爱德华真空泵,各种真空配件,生产订制各种真空设备,销售真空泵,真空仪表,真空阀门,真空标准件,非标加工,真空设备等
电话: 010-51090091, 13910218696
信箱: neonnews@163.com
邮址:北京市中关村高科技园区二拨子工业区16号(102208)
 
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风冷,水冷,脂润滑涡轮符合分子泵

产品编号:549504016
产品价格:0
产品规格:
生产厂家 :
所属类别:真空泵>>分子泵

产品详情:
 

TY系列复合分子泵对大气的抽速曲线

TY系列复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线


TY系列复合分子泵安装尺寸表

数据

TYFB-600复合分子泵

TYFB-1200复合分子泵

TYFB-1600复合分子泵

高真空法兰

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

D1

φ202

φ180

φ253

φ240

φ305

φ290

D2

φ236

φ236

φ267

φ267

φ296

φ296

D3

□145.7

□145.7

□167.6

□167.6

□183.8

□183.8

L1

128

128

142

142

161

161

L2

137

137

152

152

166

166

H1

395.5

395.5

393

393

394

394

H2

108

108

108

108

110

110

H3

135.5

135.5

135.5

135.5

142.5

142.5

H4

104

104

104

104

104

104

泵腿螺钉孔

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8


TY系列复合分子泵参数表

技术数据

TYFB-600复合分子泵

TYFB-1200复合分子泵

TYFB-1600复合分子泵

高真空法兰(mm)

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

前级管道法兰(mm)

40 KF

40 KF

50 KF

抽气速(L/S)

600

1200

1600

压缩比

N2

>109

>109

>109

H2

>8X103

>1X104

>1X104

极限压强(Pa)帕

<8×10-8

<5×10-7

<8×10-8

<5×10-7

<8×10-8

<5×10-7

电机转数(n/min)

24000

24000

21000

振动值

≤0.1μm

≤0.1μm

≤0.15μm

启动时间(min)

<5

<5

<6

建议采用的前级泵

4-8 L/S

8-15 L/S

15 L/S

冷却方式

水冷(风冷)

水冷(风冷)

水冷(风冷)

风冷泵环境温度

≤25℃

≤25℃

≤25℃

水冷冷却水温度

≤20℃

≤20℃

≤20℃

水冷冷却水流量(L/min)

1

1

1

泵体烘烤温度

<120℃

<120℃

<120℃

加热器功率(w)

<550

<600

<700

加热器输入电压(v)

AC220

AC220

AC220

安装方向

垂直±5°

垂直±5°

垂直±5°

泵重量(kg)

≈29

≈34

≈39


  TY系列复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵,是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了复合分子泵的应用范围。
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。

水冷泵外形(CF法兰)

风冷泵外型(ISO-K法兰)

 TY系列风冷复合分子泵的性能与水冷复合分子泵一样,适用于没有水源且环境温度不高的地方,或经常移动的排气机组等。


TY系列风冷复合分子泵安装尺寸表

数据

TYFB-600F复合分子泵

TYFB-1200F复合分子泵

TYFB-1600F复合分子泵

高真空法兰

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

D1

φ202

φ180

φ253

φ240

φ305

φ290

D2

φ236

φ236

φ267

φ267

φ296

φ296

D3

□145.7

□145.7

□167.6

□167.6

□183.8

□183.8

L1

128

128

142

142

161

161

L2

137

137

152

152

166

166

H1

438.5

438.5

436

436

437

437

H2

70

70

70

70

70

70

H3

178.5

178.5

178.5

178.5

185.5

185.5

H4

151

151

151

151

153

153

泵腿螺钉孔

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8


  TY系列脂润滑复合分子泵其叶轮采用国内首创的变截面叶齿、轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承,以更高的可靠性实现了泵体的任意角度安装和无油的高真空环境。


TY系列脂润滑复合分子泵安装尺寸表

数据

TYFB-650Z复合分子泵

TYFB-1300Z复合分子泵

高真空法兰

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

D1

φ202

φ180

φ253

φ240

D2

φ236

φ236

φ267

φ267

D3

□145.7

□145.7

□167.6

□167.6

L1

138

138

150

150

H1

358

358

358

358

H2

313

313

313

313

H3

108

108

108

108

H4

95.5

95.5

95.5

95.5

泵腿螺钉孔

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8


》分子泵电源


主要特点:
安全稳定、速度追踪: B系列分子泵电源是基于国际著名品牌半导体功率器件以及高速可编程器件配合应用的程控电源;其工作状态持久稳定,过载能力强,运行数据准确。具有自动跟踪功能(电源在断电、异常问题处理后自动按当前转速跟踪加速)、刹车功能(使正常运行的分子泵按设定时间内停止)加速过流、运行过流、减速过压、电源欠压、电源过热、泵过热等保护功能,延长和保护泵的使用寿命。
低温升,适应性强:B系列分子泵电源内置高效率输出变压器,具有超强的过载能力和非常底的温升,适应长久连续的运行工作。
便于自动化集成控制:B系列分子泵电源具有功能齐备的一组外部控制接口,包括单键启/停控制、无源常闭开关故障信号、无源常开开关全速运行信号、0-10V频率模拟信号输出、10V频率同步脉冲信号、485控制等功能。可方便的组建多种真空设备的自动化排气系统。

安装尺寸

前面板

 

宽480mm×高177mm(厚2mm)

前面板到机柜前门最小保留空间

 

13mm

 

后面板

 

宽440mm×高170mm

后面板到机柜最小保留空间

 

150mm

 

箱体

 

深300mm×宽440mm×高170mm

机箱两侧到机柜最小保留空间

 

50mm

 

电源电气参数

项目名称

 

B-1200

B-1600

B-3600

输出功率

 

800W。分子泵正常运转时功耗小于200W-250W,启动加速时小于200W-400W。

输出电压

 

0 — 50V

输出频率

 

0 — 400Hz

0 — 350Hz

0 — 210Hz

输出电缆长度

 

3米、5米、10米、20米、25米(不推荐,建议将电源就近安放)

零启动加速时间

 

4分30秒

6分钟

10分钟

减速时间

 

8分30秒

10分钟

20分钟

输入电压

 

单相交流180V—240V,50—60Hz

工作条件

 

环境温度0—40℃,相对湿度小于80%

型号:
F100/110
技术指标: 抽气速率1/S(空气)110
压缩比N2:>108 H2:5×102
极限压强Pa:6×10-6
应用领域: 分析仪器:各类质谱仪;所相分析仪;电子显微镜:检漏仪.
工业应用:显象管排气;电子管设备:光盘镀膜设备:检漏仪系统;半导体工艺;离子刻蚀.
科研应用:高能物理;表面分析;真空技术各领域.
磁悬浮分子泵
 
主要技术特点:
1、MAC系列为全无油的真空泵,可用来产生洁净的超高真空。
2、可以任意角度安装。
3、低噪音,低震动。
4、高运行可靠性。无轴承磨损,无需维护。
5、TMS温控系统可以调节泵温,防止蒸汽在泵内冷凝。
6、装有自动保护装置,以保证在突然断电时,轴承不会损坏。
7、转子叶片一次成型,坚固耐用。因此,最大允许前级压力高达6 mbar。
8、转子及定子叶片都有KEPLA-COAT涂层。因此特别适合于抽除腐蚀性气体。
 
 
 
技术参数:
 
抽速
300~3200升/秒
极限真空度
10-8~10-10mbar
最大允许前级压强
0.5~6mbar

 

ATH400M型磁悬浮复合.涡轮分子泵
 
 
[产品介绍]

    -自动平衡系统
    -内置75oC的加热系统
    -五个活动轴
    -进气口配气体
    -强制动密封
    -在优化泵浦参数的情况下转速可调节
    -低噪音、低振动
    -不需电池
    ATH400M和ATH1000M是专为适用于半导体应用所需的高压,大泵浦速率的要求而设计。

 
 
 
技术参数:
 

型 号
ATH400M
ATH1000M
进气口法兰
DN160ISO-K
DN200ISO-K
转速(转/分)
39000
33000
N2泵浦速率(L/S)
400
850
He泵浦速率(L/S)
360
750
H2泵浦速率(L/S)
230
450
N2压缩比
1×108
2×108
He压缩比
2×103
1×104
H2压缩比
1×102
4×102
极限压强(mbar)
1×10-8
1×10-8
最大流速(sccm)
2000
1200
最大进气口压(mbar)
1
0.1
最大换气口压(mbar)
2
1
最高加热温度(oC)
75
75
噪音水平(dBA)
39
39
振动水平(μm)
0.02
0.02
启动功率(W)
500
500
正常功率(W)
300
300
起动时间(min)
< 5
< 5
高度
273mm(10.7in)
304mm(12in)
直径
193mm(7.6in)
242mm(9.2in)
重量
15kg(33lbs)
23kg(50lbs)
推荐前级泵
ADP31or2033
ADP81or2063
控制器
ACT600M
ACT1000M
电源
90-130Vor170-230V;50/60HZ

 
Edwards  EXT系列涡轮分子泵
    BOC Edwards EXT泵适用于除最苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。STP系列泵使用电磁轴承,EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。
     BOC Edwards EXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为一,使用起来更加方便。OEM或有电源的最终用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮,这可以降低成本。另外还具有如下优点:无油(涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染);低维护(无轴承接触,无机械磨损);低振动(比一般轴承的振动低一个数量级);减少冷却(对许多应用来说自然冷却即可);定位任意(可以安装在任意位置)。
EXT70
 
订货信息
报价:
分子泵
水冷FB-600(150CF)34000;水冷FB-1200(200CF)39000;
水冷FB-1600(250CF)44000;水冷FB-3600(400ISO-K)86000;
风冷FB-600(150CF)34000;风冷FB-1200(200CF)39000;
风冷FB-1600(250CF)47000; 风冷FB-110:26000

 
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