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南阳栋洋机械设备有限公司
南阳栋洋机械设备有限公司主要以加工真空陶瓷电极，真空观察窗，真空密封插座，爱德华真空泵，各种真空配件,生产订制各种真空设备,销售真空泵,真空仪表,真空阀门,真空标准件,非标加工,真空设备等
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溅射离子泵

产品编号：549384016
产品价格：0
产品规格：
生产厂家 ：
所属类别：真空泵>>溅射离子泵

产品详情:
溅射离子泵是目前采用最广泛的清洁真空泵，它具有工作压强宽广、极限压强低，对惰性气体抽速大、无噪声、无振动、寿命长，操作方便等优点。 极限抽速6.6 ×10 -9 Pa。
 
 
 
技术参数：
 

型号

口径 抽速L/S 工作电压

长×宽×高

3L-25  Φ35  25 4.2kV 215×135×185

3L-50

Φ100

 50

5.0kV

　

3L-110

Φ150

110

5.5kV

452×248×347

3L-220

Φ150

220

5.5kV

416×416×337

3L-300

Φ150

300

5.5kV

540×300×540

3L-400

Φ150

400

5.5kV

534×276×640

3L-600

Φ200

600

5.5kV

551×551×508

溅射离子泵是一种获得清洁超高真空的真空获得设备，它具有清洁、真空度高、无噪声、无振动、操作方便等优点。离子泵工作是封闭系统，不需要有连续工作的前级真空系统。
 
 
 
技术参数：
 
型 号
2L-50
3L-50
订货编号
/
/
接口法兰
DN100CF
DN100CF
抽气速率 L/S 对空气
对氩气
65
55
0.6
12
启动压力 Pa
≤5×10-4
≤5×10-4
极限压强 Pa
7×10-8
7×10-8
烘烤温度（oC） 带磁铁
不带磁铁
＜200
＜200
＜300
＜300
工作电压 KV
+7
-5
电极单元（个）
2
2
重量 kg
16
16
长×宽×高 mm
290×120×299
290×120×299
技术指标： 型号　　2L-100　　3L-100
入口法兰　　CF150　　CF150
抽速(升/秒) 氮气 120　　 110
　　　　　　氩气 1.2　　24
启动压强(Pa)　　≤5×10-4　　≤5×10-4
极限压强(Pa)　　≤7×10-8　　≤7×10-8
烘烤(℃) 带磁铁温度 200　　200
　　　　 不带磁铁　　300　　300
工作电压(KV)　　+7　　-5
抽气单元(个)　　4　　4
重量(kg)　　　　　　 30　　30
加热罩　　 　　无　　无
 
应用领域： 溅射离子泵是无油超高真空机组的主泵，可应用于高能粒子加速器，受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、电子显微镜、质谱仪等科学实验装置及其它需要超高真空的工业设备中。
V-2000型离子泵电源是单片微机控制的智能化离子泵电源。
   V-2000型离子泵电源具有如下特点：
◆体积小、重量轻，仅为传统电源的一半。
◆方便的通讯功能：多台电源可通过RS-485通讯串行口联接集中与一台上位机通讯。电流、电压及电源工作状况由串行口上传上位机。上位机可控制高压启停，高压换档。 
◆多种可靠保护功能，可长时间高压短路。 
◆超高真空时，离子流突然增大至5mA以上，向用户报警。 
◆大电流启动离子泵时，自动分时启停离子泵三次。 
◆可适应各种离子泵配套设备。 
◆泵和电源最大允许距离： > 30m 
◆计算机接口： RS－485(提供可在windows98下工作的相应软件)  

各种电源.输出电压均可从0调起，全程线性可调
输出电压选择
输出电流选择
DC 100V
100mA
500mA
1A
2A
DC 200V
50mA
500mA
1A
1.5A
DC 300V
50mA
100mA
200mA
500mA
1A
DC 400V
DC 500V
100mA
800mA
DC 600V
100mA
700mA
DC 800V
DC 1000V
DC 1200V
10mA
50mA
100mA
200mA
DC 1500V
100mA
150mA
200mA
DC 2000V
10mA
20mA
50mA
80mA
DC 2500V
20mA
50mA
100mA
150mA
DC 3000V
80mA
100mA
DC 3500V
1mA
5mA
10mA
20mA
50mA
90mA
DC 4000V
1mA
5mA
50mA
80mA
DC 4500V
1mA
20mA
30mA
50mA
70mA
DC 5000V
DC 6000V
10mA
20mA
30mA
50mA
DC 7000V
1mA
10mA
20mA
30mA
40mA
DC 8000V
10mA
15mA
20mA
30mA
DC 9000V
1mA
5mA
10mA
15mA
20mA
30mA
DC 10000V
DC 15000V
1mA
2mA
3mA
5mA
8mA
10mA
DC 20000V
1mA
2mA
3mA
5mA
8mA
10mA
DC 25000V
1mA
2mA
3mA
4mA
5mA
7mA
DC 30000V
3mA
4mA
5mA
6mA
DC 35000V
1mA
2mA
3mA
4mA
5mA
6mA
DC 40000V
2mA
3mA
    
DC 45000V
1mA
2mA
3mA
4mA
    
DC 50000V
2mA
3mA
    

报价:
离子泵
2L-100：31200   2L-200：3300   2L-300：37000
 
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