真空机组,将手动碟阀改进成了气动高真空挡板阀,手动三通阀也改进成了二个独立的电磁气动前级阀与预抽阀(与镀膜机机组结构相同)。改进后的机组有如下功能与特点:
1.1 气动高真空档板阀改变了手动碟阀原有的关闭不严、蝶阀O形圈容易被玻璃渣划伤、容易漏气的缺陷;且电磁气动阀使自动保护成为可能。
1.2 新的高阀是侧管与排气总管联接,碎玻璃不能直接掉落在阀盖上,避免了O型圈易被碎玻璃扎坏,延长了使用寿命和维修周期
1.3 由于前级阀和预抽阀为独立的了,彻底杜绝了原三通阀串气的毛病,大大提高了真空度的抽速。
1.4 增加了暴大气自动保护功能并伴有声、光报警;提高了扩散泵使用寿命。
1.5 增加了扩散泵炉丝断相声、光报警。
1.6 突然断电时,也能迅速关高阀、关前级、保护扩散泵。
2、 热屏蔽箱:
2.1 (1)、热屏蔽箱为提升式。上、下移动由原来的电动葫芦吊链改为有减速机、滑轮、平衡配重铁通过钢丝绳来完成的升降运动,并在立柱上装有安全活动保险杆,上、下装有极限碰停,箱体到位后,减速机自动停止工作。(配重平衡铁设置在立柱之内,安全性好。)
2.2 热屏蔽箱框架、内衬板、内反射架均采用了高温防变形设计。框架设计了防变形伸缩缝;内衬板、内反射架的设计采用了防变形拼装式;安装固定孔也设计为可伸缩孔。
2.3 热屏蔽箱内壁设计了二层不锈钢板,内衬不锈钢板隔热防腐防锈,再加一层不锈钢热反射板,减少热辐射,大大提高了保温性能。
2.4 热屏蔽箱的保温层选用了保温性能较好的硅酸铝棉粘,保温性能好。
2.5 由于改善了保温设计,加热功率大大减少,而加热时间不变或减少。1.5M排气台,加热功率由原来的13.5kw减少到只有9kw;1.8M排气台,由原来的18kw减少到只有13.5kw。
3、 电加热器:
电加热器选用的是不锈钢直管式电加热器,严格按安全的表面功率密度设计生产的,使用寿命长、加热速度快,整个屏蔽箱内电加热器按长、短比例配置,使屏蔽箱内上、下温度尽量均匀。
增加了电加热器的工作运行显示,12根加热管在控制面板上对应有12个工作指示灯,电加热器坏了有指示灯显示。
– 主要技术指标:
项目 |
参数 |
设备外形尺寸(mm) |
2000×600×4500(长×宽×高) |
装载量 |
32~40支(Φ47×1200)/(Φ47×1500) 排气嘴(尾管)Φ10×150 |
加热功率(KW) |
9KW/13.5KW |
输入电源(VAC) |
380 |
加热温度(℃) |
400 |
JK-150A真空机组极限压强 |
1.6×10-4Pa |
排气总管极限压强 |
≤1.3×10-3Pa |
冷却水 |
200升/小时 |
压力(MPa) |
0.25 |
水温(℃) |
25 |
总功率 |
11.1/15.6KW(其中:烘烤9KW/13.5KW,扩散泵1KW,机械泵0.55KW,减速电机0.55KW | |