现有数百台我公司生产的溅射离子泵及电源工作在航空航天、表面物理、材料研究、高能物理、电子科学、宇宙模拟、加速器、同步辐射等众多高科技领域。部分产品还出口美国等国家和地区。 　　我公司生产的溅射离子泵及电源，大批量应用于中科院高能物理研究所（IHEP）北京正负电子对撞机(BEPC)储存环、加速器、北京同步辐射装置（BSRF）。 型号有：SP-30　SP-70　SP-100 SP-150 SP-200　SP-300 SP-400 SP-500 SP-600 SP-1000 SP-1500等 特点：没有工作液，不污染系统； 无震动、无噪声； 工作压强范围宽（1×10-4-1×10-11托）； 寿命长，在1×10-7托工作寿命可达30年； 　　　不用真空计可知真空度； 不用检漏仪可对系统进行检漏。 应用：加速器 表面物理 储存环 材料研究 电子显微镜 宇宙模拟 质谱仪 大功率激光研究 真空电子器件   　技术指标 型号 SP-200 SP-400 SP-600 SP-1000 　抽速（升/秒） 2极 220 440 620 1100 3极 180 360 500 880 　极限压强（托） 1×10E-11 　最高烘烤温度（ o C） 300 　最高启动压强（托） 2极 10E-4 3极 10E-3 　工作电压（KV） 2极 +6 3极 -6 　重量（kg） 77 144 210 290 　自速成烘烤（KW） 0.72 0.99 1.42 1.98   三极泵与二极泵的不同特点除了上表所列差异外，三极泵对惰性气体的抽速大得多。 以下情况建议使用三极溅射离子泵：1、 不断有惰性气体进入真空系统； 2、 在大型真空系统中离子泵与升华泵或吸气剂泵结合使用。